- негативные резиста
- Microelectronics: negative-resist system
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
негативные резиста
Смотреть что такое "негативные резиста" в других словарях:
РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ — метод микроэлектронной технологии, заключающийся в формировании с субмикронным разрешением защитной маски заданного профиля на поверхности подложки; осуществляется при помощи рентг. излучения длиной волны l 0,4 5 нм; один из методов… … Физическая энциклопедия
